575电子能谱仪简介 电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、探测电子的监测器和真空系统等几个基 本的部分组成。样品在样品室受到激发源照射电离产生光电子或二次电子,然后用能量分 析器收集,通过电场作用,使得只有一定动能的电子才能克服这种作用通过出口狭缝进入 电子检测系统;于是从电场强度求得电子的动能,从检测系统得到对应电子的数目,以两 者关系作图就得到电子强度对电子能量的分布曲线,即电子能谱图。该过程如图7.5.1所 示。光电子能谱仪、紫外光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪所最大的不同是激发源。以下就 电子能谱仪的各主要组成部分作一简单的讨论 真空系统/磁屏蔽 样品 能量分析器 激发源 检测器 记录系统 图7.5.1电子能谱仪的基本组成部分 7.5.1激发源 电子能谱仪通常采用的激发源有三种:Ⅹ射线源、真空紫外灯和电子枪。这三种激发 源各有不同的用处,目前的商品谱仪大多将这些激发源组装在同一个样品室中,成为一个 具有多种功能的综合能谱仪。表7.5.1给出了这几种激发源的能量和应用范围。 表7.5.1电子能谱常用激发源 激发源 能量范围(cV)线宽(e 应用范围 X射线(ALMg等) 内层和价层电子 外光(HeI,Ⅱ等) 价电子 电子枪 ~2000-5000 <0.5 俄歇电子 1.X射线源§7.5 电子能谱仪简介 电子能谱仪主要由激发源、电子能量分析器、探测电子的监测器和真空系统等几个基 本的部分组成。样品在样品室受到激发源照射电离产生光电子或二次电子，然后用能量分 析器收集，通过电场作用，使得只有一定动能的电子才能克服这种作用通过出口狭缝进入 电子检测系统；于是从电场强度求得电子的动能，从检测系统得到对应电子的数目，以两 者关系作图就得到电子强度对电子能量的分布曲线，即电子能谱图。该过程如图 7.5.1 所 示。X 光电子能谱仪、紫外光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪所最大的不同是激发源。以下就 电子能谱仪的各主要组成部分作一简单的讨论。 7.5.1 激发源 电子能谱仪通常采用的激发源有三种： X 射线源、真空紫外灯和电子枪。这三种激发 源各有不同的用处，目前的商品谱仪大多将这些激发源组装在同一个样品室中，成为一个 具有多种功能的综合能谱仪。表 7.5.1 给出了这几种激发源的能量和应用范围。 表 7.5.1 电子能谱常用激发源 1.Ｘ射线源： 激发源 能量范围 ( eV ) 线宽 (eV) 应用范围 X 射线(Al, Mg 等) ~ 1000 ~ 0.8 内层和价层电子 紫外光(He I, II 等) ~ 20−40 < 0.01 价 电 子 电子枪 ~2000−5000 < 0.5 俄歇电子 图 7.5.1 电子能谱仪的基本组成部分