第章半导体传感器 图9-1表示了气体接触N型 半导体时所产生的器件阻值 变化情况。由于空气中的含 器件电阻⑨k 响应时间约1min以内 氧量大体上是恒定的,因 此氧的吸附量也是恒定的, 稳定状 氧化型 器件加热 太 器件阻值也相对固定。若气 体浓度发生变化,其阻值也 50 将变化。根据这一特性,可 以从阻值的变化得知吸附气 5 还原型 体的种类和浓度。半导体气 2 min 4 min 加热开 敏时间(响应时间)一般不超 吸气时 大气中 过1min。N型材料有SnO2 ZnO、TO等,P型材料有 图9-1N型半导体吸附气 MoO2、CrO3等。 体时器件阻值变化图第9章 半导体传感器 图 9-1 N型半导体吸附气 体时器件阻值变化图 100 5 50 加 热 开 关 大 气 中 2 min 4 min 吸 气 时 还 原 型 稳 定 状 氧 化 型 器 件 加 热 态 响 应 时 间 约 1 min以 内 器 件 电 阻 / k  图9-1表示了气体接触N型 半导体时所产生的器件阻值 变化情况。由于空气中的含 氧量大体上是恒定的， 因 此氧的吸附量也是恒定的， 器件阻值也相对固定。若气 体浓度发生变化，其阻值也 将变化。根据这一特性，可 以从阻值的变化得知吸附气 体的种类和浓度。半导体气 敏时间(响应时间)一般不超 过1min。N型材料有SnO2、 ZnO、TiO等，P型材料有 MoO2、CrO3等