第章半导体传感器 913半导体气敏传感器类型及结构 1.电阻型半导体气敏传感器 组成:敏感元件、加热器、外壳。 分类:烧结型、薄膜型、厚膜型器件。 半导体 0.5mm电极 电极(铂丝) 氧化物半导体 0.6mm 绝缘基片 加热器 加热器电极 3 mm 玻璃(尺寸约1mm,也有 半导体的) (b) 图92气敏半导体传感器的器件结构 (a)烧结型气敏器件;(b)薄膜型器件;(c)厚膜型器件第9章 半导体传感器 9.1.3 1. 电阻型半导体气敏传感器 组成：敏感元件、加热器、外壳。 分类：烧结型、薄膜型、厚膜型器件。 图9-2 (a) 烧结型气敏器件； (b) 薄膜型器件； (c) 厚膜型器件