第章半导体传感器 0.5 氧化物半导体 (单位:mm) Pt电极 22∠氧化铝基片 7 器件加热用的加热器(印制 厚膜电阻) C 图92气敏半导体传感器的器件结构 (a)烧结型气敏器件;(b)薄膜型器件;(c)厚膜型器件第9章 半导体传感器 3 3 0.5 (单 位 : mm) 7 (c) 氧 化 铝 基 片 P t电 极 氧 化 物 半 导 体 器 件 加 热 用 的 加 热 器 (印 制 厚 膜 电 阻 ) 图9-2 (a) 烧结型气敏器件； (b) 薄膜型器件； (c) 厚膜型器件