第章半导体传感器 图92(a)为烧结型气敏器件。这类器件以SnO2半导体材料为基体 将铂电极和加热丝埋入SnO材料中,用加热、加压、温度为700900℃ 的制陶工艺烧结成形。因此,被称为半导体陶瓷,简称半导瓷。半导 瓷内的晶粒直径为1m左右,晶粒的大小对电阻有一定影响,但对气体 检测灵敏度则无很大的影响。 特点:制作方法简单,器件寿命长; 由于烧结不充分,器件机械强度不高,电极材料较贵重,电性 能一致性较差,因此应用受到一定限制。 电极(铂丝) 氧化物半导体 加热器 玻璃(尺寸约1mm,也有 半导体的) (a)烧结型气敏器件第9章 半导体传感器 9.1.3 1. 电阻型半导体气敏传感器 0.6 mm 半 导 体 0.5 mm 电 极 加 热 器 电 极 绝 缘 基 片 (a) 电 极 (铂 丝 ) 氧 化 物 半 导 体 加 热 器 玻 璃 (尺 寸 约 1 mm， 也 有 全 为 半 导 体 的 ) 3 mm (b) 3 mm (a) 图9-2(a)为烧结型气敏器件。这类器件以SnO2半导体材料为基体， 将铂电极和加热丝埋入SnO2材料中，用加热、加压、温度为700~900℃ 的制陶工艺烧结成形。因此，被称为半导体陶瓷， 简称半导瓷。半导 瓷内的晶粒直径为1μm左右，晶粒的大小对电阻有一定影响，但对气体 检测灵敏度则无很大的影响。 特点：制作方法简单，器件寿命长； 由于烧结不充分，器件机械强度不高，电极材料较贵重，电性 能一致性较差，因此应用受到一定限制