2.变面积型电容式传感器 圆柱形电容器的电容量2l In(r/r) 当两圆筒相对移动M时,电容变化量为 △C= 276127E(l-△) 2兀El △Z In(r/r) 具有良好线性2. 变面积型电容式传感器 圆柱形电容器的电容量 2 1 2 ln( / ) l C r r = 当两圆筒相对移动 l 时,电容变化量为 2 1 2 1 2 2 ( ) ln( / ) ln( / ) l l l C r r r r − = − 2 1 2 ln( / ) l r r = 0 l C l = 具有良好线性