若电容器极板间距δ因被测量变化而变化△⑧ 时,则有 es s ES△6 △ △C= 6-△dδδ-△δ -△ 原理非线性,实际中作成差动式来改变其非线性 一般变极板间距离电容式传感器的起始电 容在20~100pF之间,极板间距离在25~200μum 的范围内,最大位移应小于间距的1/10,故在微 位移测量中应用最广。若电容器极板间距 因被测量变化而变化 时，则有 0 S S S C C                 = − = = −  −  −    原理非线性，实际中作成差动式来改变其非线性 一般变极板间距离电容式传感器的起始电 容在 20～100pF之间, 极板间距离在25～200μm 的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微 位移测量中应用最广