研究生课程教学大纲 课程代码《课程名称》教学大纲 课程 课程中 0208097010 柔性MEMS系统与集成 学时 40 编号 文名称 口学位课 课程 ☑啡学位课 课程英 Flexible MEMS Technology and 性质 文名称 学分 2 口其他 Integration 开课 ☑春 适用学科 适用 ☑项士 工学、工程 时间口秋 (类别) 学生 ☑博士 先修课程 电路基础，大学物理 开课单位 电子科学与工程学院 大纲撰写人 张晓升 大纲审稿人 鲍景富 制（修）定时间 2018.5 一、教学目标 本课程是电子科学与技术专业硕士/博士研究生的一门选修课。设置本课程的目的在于， 使学生通过本课程的学习，了解“微机电系统”这一技术领域的概貌，初步建立起有关“柔性 MEMS技术及系统集成”的基本概念，掌握基本分析方法，为从事MEMS系统与集成等方 面有关的研究工作打下基础。通过本课程的学习，学生应掌握柔性微机电系统的基本工作 原理、基本概念和分析方法，具有初步的分析和设计柔性MEMS器件及系统集成的能力。 二、教学内容与要求 1.绪论介绍MEMS技术的研究历程和应用现状(2学时) 认识MEMS器件的特点，了解MEMS技术的发展过程，熟悉MEMS器件与系统的基本原理和发 展现状： 2. 柔性MEMS的材料与实现技术(4学时) 了解MEMS制作工艺中所用材料的特性与实现复杂MEMS器件的工艺流程，包括：传统硅基工 艺的各向同性腐蚀、各向异性腐蚀、干法腐蚀、非晶薄膜的腐蚀与表面微机械加工技术等： 以及基于聚合物材料的柔性微纳米加工技术。 3.柔性MEMS功能器件现状一(RF MEMS)(8学时) 理解RF MEMS电容和电感的工作原理和特点，理解硅膜片电容式压力传感器的力场与电场 分析方法，了解RF MEMS可变电容和电感的最新进展：了解RF MEMS谐振器与滤波器的设计 理论，了解梳状MEMS滤波器、微型声表面波滤波器的分析方法和工作原理，理解RF MEMS 谐振器的尺度效应：了解柔性RF MEMS器件的最新发展动态和学术前沿。 4.柔性MEMS功能器件现状二（微流控MEMS芯片）(8学时)研究生课程教学大纲 1 课程代码《课程名称》教学大纲 课程 编号 0208097010 课程中 文名称 柔性 MEMS 系统与集成 学时 40 课程 性质 □学位课 ☑非学位课 □其他 课程英 文名称 Flexible MEMS Technology and Integration 学分 2 开课 时间 ☑春 □秋 适用学科 (类别) 工学、工程 适用 学生 ☑硕士 ☑博士 先修课程 电路基础，大学物理 开课单位 电子科学与工程学院 大纲撰写人 张晓升 大纲审稿人 鲍景富 制(修)定时间 2018.5 一、教学目标 本课程是电子科学与技术专业硕士/博士研究生的一门选修课。设置本课程的目的在于， 使学生通过本课程的学习，了解“微机电系统”这一技术领域的概貌，初步建立起有关“柔性 MEMS 技术及系统集成”的基本概念，掌握基本分析方法，为从事 MEMS 系统与集成等方 面有关的研究工作打下基础。 通过本课程的学习，学生应掌握柔性微机电系统的基本工作 原理、基本概念和分析方法，具有初步的分析和设计柔性 MEMS 器件及系统集成的能力。 二、教学内容与要求 1. 绪论 介绍 MEMS 技术的研究历程和应用现状(2 学时) 认识 MEMS 器件的特点，了解 MEMS 技术的发展过程，熟悉 MEMS 器件与系统的基本原理和发 展现状； 2. 柔性 MEMS 的材料与实现技术(4 学时) 了解 MEMS 制作工艺中所用材料的特性与实现复杂 MEMS 器件的工艺流程，包括：传统硅基工 艺的各向同性腐蚀、各向异性腐蚀、干法腐蚀、非晶薄膜的腐蚀与表面微机械加工技术等； 以及基于聚合物材料的柔性微纳米加工技术。 3. 柔性 MEMS 功能器件现状一（RF MEMS） (8 学时) 理解 RF MEMS 电容和电感的工作原理和特点，理解硅膜片电容式压力传感器的力场与电场 分析方法，了解 RF MEMS 可变电容和电感的最新进展；了解 RF MEMS 谐振器与滤波器的设计 理论，了解梳状 MEMS 滤波器、微型声表面波滤波器的分析方法和工作原理，理解 RF MEMS 谐振器的尺度效应；了解柔性 RF MEMS 器件的最新发展动态和学术前沿。 4. 柔性 MEMS 功能器件现状二（微流控 MEMS 芯片）(8 学时)