研究生课程教学大纲 了解微流控MEMS技术的发展现状，理解微纳尺度MEMS流控芯片的工作原理和特点，了解 DA芯片，芯片实验室，微进样技术，微热力学等多个技术方向的最新发展动态，理解柔性 基底上微阀、毛细管电泳等关键微流控器件的工作原理与制备技术。 5.柔性MEMS功能器件现状三（光学MEMS器件）(6学时)》 掌握光学MEMS器件的工作原理与集成制造技术，理解微反射镜、微透镜、微棱镜、光栅、 衍射光学元件、FP干涉仪等光学MEMS关键器件的构造与工作原理。 6.柔性MEMS能量采集技术(8学时) 了解微纳能源采集技术基础及其前沿发展，理解自供能微系统的基本概念和前沿发展。掌握 基于压电、电磁、光电、热释电、摩擦生电等原理所实现的柔性MEMS能量采集器，理解在 微纳米尺度上实现人体和环境的能量采集，将微纳能源采集技术与微纳机电系统进行功能复 合，实现具有自驱动、自供能能力的新型微纳机电系统。 7.MEMS微系统的封装与集成(4学时) 了解MEMS领域的几种常见的封装与集成的工艺流程，熟悉MEMS封装的可靠性分析方法和 常用的几种检测方法。 三、教学方式 课程采取课堂授课和课程设计相结合的教学方式。 四、考核方式与成绩评定 考核方式：一页纸开卷 成绩评定：平时考核成绩与期末考试成绩各占50%。 五、教材及主要参考书目 教材： [1]Gregory T.A.Kovacs.Micromachined Transducers Sourcebook [M].McGraw-Hill Science, 1998. 参考资料： [1山张海霞，缪旻，方东明.射频微机电系统的理论、设计、制备及应用M.科学出版 社，2014 [2]王中林（著）.王中林，秦勇，胡又凡（译）.自驱动系统中的纳米发电机M.科 学出版社，2012 2研究生课程教学大纲 2 了解微流控 MEMS 技术的发展现状，理解微纳尺度 MEMS 流控芯片的工作原理和特点，了解 DNA 芯片，芯片实验室，微进样技术，微热力学等多个技术方向的最新发展动态，理解柔性 基底上微阀、毛细管电泳等关键微流控器件的工作原理与制备技术。 5. 柔性 MEMS 功能器件现状三（光学 MEMS 器件）(6 学时) 掌握光学 MEMS 器件的工作原理与集成制造技术，理解微反射镜、微透镜、微棱镜、光栅、 衍射光学元件、FP 干涉仪等光学 MEMS 关键器件的构造与工作原理。 6. 柔性 MEMS 能量采集技术 (8 学时) 了解微纳能源采集技术基础及其前沿发展，理解自供能微系统的基本概念和前沿发展。掌握 基于压电、电磁、光电、热释电、摩擦生电等原理所实现的柔性 MEMS 能量采集器，理解在 微纳米尺度上实现人体和环境的能量采集，将微纳能源采集技术与微纳机电系统进行功能复 合，实现具有自驱动、自供能能力的新型微纳机电系统。 7. MEMS 微系统的封装与集成(4 学时) 了解 MEMS 领域的几种常见的封装与集成的工艺流程，熟悉 MEMS 封装的可靠性分析方法和 常用的几种检测方法。 三、教学方式 课程采取课堂授课和课程设计相结合的教学方式。 四、考核方式与成绩评定 考核方式：一页纸开卷 成绩评定：平时考核成绩与期末考试成绩各占 50%。 五、教材及主要参考书目 教材： [1] Gregory T.A.Kovacs. Micromachined Transducers Sourcebook [M]. McGraw-Hill Science, 1998. 参考资料： [1] 张海霞，缪旻，方东明. 射频微机电系统的理论、设计、制备及应用 [M]. 科学出版 社，2014. [2] 王中林（著）. 王中林，秦勇，胡又凡 （译）. 自驱动系统中的纳米发电机 [M]. 科 学出版社，2012