2.离子注入 N(x)=Nme x-Rp)/ 硼原子数 0< Nmax opio p R p 深度ⅹ 2021/2/212021/2/21 11 2．离子注入 N e p p x R N x [ 2 ] max 2 2 ( ) ( ) −  = − σp σp Nmax 0 Rp 深度 X 硼原子数 0<X<