扫描电镜工作原理与构造 ·扫描电镜通过电子束激发样品生成信号成像 镜筒 SEM倍率改变的方法 探测器 M=A/A、=常数/A 电子束 Ac:阴极射线管的荧光屏宽度尺寸 样品 As:入射电子在样品上扫描范围 55 扫描电镜工作原理与构造 • 扫描电镜通过电子束激发样品生成信号成像 镜筒 探测器 电子束 样品 M Ac As As  /  常数/ SEM倍率改变的方法 Ac：阴极射线管的荧光屏宽度尺寸 As：入射电子在样品上扫描范围