扫描电镜的景深Ff 入射电子束 入射电子束 F= do B 平面1一- 样品平面1 平面2一 do:扫描像的分辨率 B:电子束发散度 样品平面2 do (mm)= 肉眼分辨率/有效放大倍率 66 扫描电镜的景深Fƒ tanβ β o f d d F    d0（mm） ＝ 肉眼分辨率／有效放大倍率 d0：扫描像的分辨率 β：电子束发散度