实验步骤 安装基片,基片用酒精清洗。 打开右下处分子泵阀门,开启机械泵15分钟。 机械泵声音逐渐变小后,开冷却水,开分子泵。 大概1分钟左右有尖锐的蜂鸣声,声音从大变小。 分子泵抽气至气压降至3E-3pa左右(大概1小 时)⚫ 安装基片，基片用酒精清洗。 ⚫ 打开右下处分子泵阀门，开启机械泵15分钟。 ⚫ 机械泵声音逐渐变小后，开冷却水，开分子泵。 大概1分钟左右有尖锐的蜂鸣声，声音从大变小。 ⚫ 分子泵抽气至气压降至3E-3pa左右（大概1小 时）