开加热带和离子电源设置为3∨,以赶走腔壁上附 着的水蒸气。 加热大概1.5小时腔内气压约为19E-3pa 停止加热,等待冷却。 气压降至2.1E-4 充氮气和氩气先开气罐的阀门,再开小阀门,调 节流量氮气0.47氩气14。此时腔内气压稳定在 2.0E-1。⚫ 开加热带和离子电源设置为3V，以赶走腔壁上附 着的水蒸气。 ⚫ 加热大概1.5小时 腔内气压约为1.9E-3pa。 ⚫ 停止加热，等待冷却。 ⚫ 气压降至2.1E-4。 ⚫ 充氮气和氩气 先开气罐的阀门，再开小阀门，调 节流量氮气0.47 氩气14。此时腔内气压稳定在 2.0E-1