《半导体器件物理》课程教学大纲 课程名称：半导体器件物理 课程代码：ELST3202 英文名称：Semiconductor Device Physics 课程性质：专业必修课 学分/学时：3.0/63 开课学期：4 适用专业：微电子科学与工程、电子科学与技术、集成电路设计与集成系统 先修课程：半导体物理及固体物理基础 后续课程：器件模拟与工艺模拟、模拟集成电路课程设计、大规模集成电路制造工艺 开课单位：电子信息学院 课程负责人：王明湘 大纲执笔人：张冬利 大纲审核人：王明湘 一、课程性质和教学目标 课程性质：《半导体器件物理》课程是微电子科学与工程、电子科学与技术以及集成电路设计与 集成系统专业的一门专业必修课，也是三个专业的必修主干课程，是器件模拟与工艺模拟、模拟 集成电路课程设计等课程的前导课程，本课程旨在使学生掌握典型的半导体器件的工作机制和特 性表征方法，为设计和制造集成电路奠定知识基础。 散学目标：本课程的教学目的是使学生掌握半导体材料特性的物理机制以及典型半导体器件的作 用原理。通过本课程的学习，要求学生能基于半导体物理知识，分析BJT、MOSFET、LED以及Solar C11等半导体器件的工作原理、器件特性以及影响器件特性的关键参数。本课程的具体教学目标 如下： 1、掌握牢固的半导体基础知识，理解半导体器件工作的物理机制。 2、掌握影响半导体器件电学特性的关键因素，能够从半导体器件的电学特性曲线提取半导体 器件的关键参数。 3、能够根据给定的器件特性要求，设计和优化器件参数和器件结构。 4、能够对半导体器件的特性进行测量，对测量结果进行研究，并得到合理有效的结论。 二、 课程目标与毕业要求的对应关系 毕业要求 指标点 课程目标 1.3掌握电子科学与技术相关工程基础知 1.工程知识 识，能用于分析工程问题中的电路、电磁场 教学目标1 及信号问题。 2.1能运用数理和工程知识识别和判断电子 2.问题分析 科学与技术相关领域复杂工程问题中的关 教学目标2 键环节和参数。 3. 设计/开发解决方案 3.3能综合利用专业知识，对设计方案进行 优选和优化，体现创新意识。 教学目标3 4.研究 4.4能对实验结果进行分析和解释，并通过 信息综合得到合理有效的结论。 教学目标4 三、课程教学内容及学时分配（重点内容：★； 难点内容：△) 一、半导体的晶体结构与能带理论（支持教学目标1） 课时：1周，共3课时 1.晶体结构与硅工艺 1.1晶体的结构★《半导体器件物理》课程教学大纲 课程名称：半导体器件物理 课程代码：ELST3202 英文名称：Semiconductor Device Physics 课程性质：专业必修课 学分/学时：3.0 / 63 开课学期：4 适用专业：微电子科学与工程、电子科学与技术、集成电路设计与集成系统 先修课程：半导体物理及固体物理基础 后续课程：器件模拟与工艺模拟、模拟集成电路课程设计、大规模集成电路制造工艺 开课单位：电子信息学院 课程负责人：王明湘 大纲执笔人：张冬利 大纲审核人：王明湘 一、课程性质和教学目标 课程性质：《半导体器件物理》课程是微电子科学与工程、电子科学与技术以及集成电路设计与 集成系统专业的一门专业必修课，也是三个专业的必修主干课程，是器件模拟与工艺模拟、模拟 集成电路课程设计等课程的前导课程，本课程旨在使学生掌握典型的半导体器件的工作机制和特 性表征方法，为设计和制造集成电路奠定知识基础。 教学目标：本课程的教学目的是使学生掌握半导体材料特性的物理机制以及典型半导体器件的作 用原理。通过本课程的学习，要求学生能基于半导体物理知识，分析BJT、MOSFET、LED以及Solar Cell等半导体器件的工作原理、器件特性以及影响器件特性的关键参数。本课程的具体教学目标 如下： 1、 掌握牢固的半导体基础知识，理解半导体器件工作的物理机制。 2、 掌握影响半导体器件电学特性的关键因素，能够从半导体器件的电学特性曲线提取半导体 器件的关键参数。 3、 能够根据给定的器件特性要求，设计和优化器件参数和器件结构。 4、 能够对半导体器件的特性进行测量，对测量结果进行研究，并得到合理有效的结论。 二、课程目标与毕业要求的对应关系 毕业要求 指标点 课程目标 1．工程知识 1.3掌握电子科学与技术相关工程基础知 识，能用于分析工程问题中的电路、电磁场 及信号问题。 教学目标1 2．问题分析 2.1能运用数理和工程知识识别和判断电子 科学与技术相关领域复杂工程问题中的关 键环节和参数。 教学目标2 3. 设计/开发解决方案 3.3能综合利用专业知识，对设计方案进行 优选和优化，体现创新意识。 教学目标3 4．研究 4.4能对实验结果进行分析和解释，并通过 信息综合得到合理有效的结论。 教学目标4 三、课程教学内容及学时分配（重点内容：；难点内容：） 一、半导体的晶体结构与能带理论（支持教学目标1） 课时：1周，共3课时 1. 晶体结构与硅工艺 1.1 晶体的结构 