①洁净室的节能不容忽视 ②洁净室高耗能的具体表现 运行负荷 制冷负荷 洁净室新风 b.洁净室风机温升负荷,使比较容易忽略掉的问题 工艺设备负荷① 洁净室的节能不容忽视 ② 洁净室高耗能的具体表现 ◼ 运行负荷 ◼ 制冷负荷 a. 洁净室新风 b. 洁净室风机温升负荷，使比较容易忽略掉的问题 c. 工艺设备负荷