动器驱动的微动工作台 42机床热误差的测量与补偿…… 52平行弹簧导轨 526第13章精密和超精密加工的 53滚动导轨一压电器件驱动 支持环境…… 54气浮导轨 529 ↓空气的环境和热环境……589 第12章误差的在线检测与 1.1空气环境………… 补偿技术… 1.2热环境………… 1概述 13沽净室 1.1先进制造技术及其发展…… 4分层次的局部环境 12先进制造系统中的质量监控技术……52 2振动环境 1.3影响加工精度的因素 21振动干扰的影响… 1.4保亚加工糟度的途径…………535 2.2振动干扰的消除 2误差检测技术 23隔振器的隔振原理 2.1误差检测技术简述 24隔振元器件 22位移量的检测………… 3噪声环境 23机械加工振动及其检测方法 3]噪声及其影响 3误差补偿技术………………565 32噪声源 3.1几何误差的补偿 噪声控制 3.2热误差的补偿… 其他环境 机床误差的其他补偿方法 4.1光环境 在线检测与补偿系统举例………5834.2静电环境 4.!阿贝误差实时修正系统 精密和超精密加工的环境设施 第5篇典型精密元件加工 第14章精密基准件加工 22精密分度板的加工工艺 精密平板和直角尺加工 2.3精密分度方法 精密平板的加工 3精密球加工… 1.2精密直角尺的加工 3.1球面研磨原理 2精密分度板(盘)加工 3.2四轴自动球面研磨原理 21精密分度板的技术要求 参考文献…