32光成形微细加工… 22微型加速度传感器…………………………387 33其他微细加工方法… 2.3徽型陀螺仪 4粘接装配技术…… 3微型致动器… 4.1粘接技术 3.1微型旋转/角位移致动器 4.2微操作装配技术 3.2微型直线/振动型致动器… 第8章微型机楲与微型机电系统…3834微量流体控制器件与系统 概述 4,1微型阀…… 2微型传感器 4.2微型泵……939 6780 2.1微型压力和流量传感器 4.3微量流体控制系统…… 第4篇精密测量和质量保证 第9章精密测量技术 22外差于涉轮廓测量………… 精密测量原理 …403平面度和表面粗糙度的测量………469 1.1测量的一般概念 31平面度误差的测量和数裾处理 1.2糈密测量原理 3.2表面粗糙度的测量及仪器…… 13制定测量方案时应考虑的 4微细图形尺寸的测量… 若干因素 4.1比较测量 2典型几何量的测量方法与仪器……410 4.2直接测量 “48 2.1常见的几何量测量仪器 5台阶、膜厚的测量及其他…………481 22轴类零件的测鬟 阶测量 23孔类零件的测量 5.2膜层厚度测量 24锥度测量……………………417第11章微位移技术… 490 25螺旋线的测量 1概述 2.6渐开线的测量 419 11微位移机构的分类…… 3典型物理量的精密测量方法 1.2微位移系统的应用 与仪器 2微位移机构的原理… 3.1常用的力学性能测试 21压电、电致伸缩器件 3.2振动性能检测 2.2电磁驱动器件…… 4精密测量的精度分析 23电热式教位移机构… 4.1测量误差的来源分析 2.4机被式礅位移机构 4.2评定测量精度的两个综合性指标……4 3柔性饺链 43精密测量中的误差理论 3.1柔性铰链的类型及特点 5典型精密测量系统简介……………4 32柔性较链的设计… S07 5.1双频激光外差干涉仪及应用… 4精密微动工作台的设计及其特 52圆度仪及圆度测量 性分析 53坐标测量机 41精密微动工作台的设计要求 5/4 54莫尔条纹技术 4.2精密微动工作台设计中的几个 第10章微尺寸测量技术 问题 1微小尺寸测量的概念和特点……45 43精密微动工作台的设计 2微位移的测量… 5常用的微动工作台简介 523 21光干涉法微位移的测量 5.1柔性支承一压电或电致伸缩微位移驱