第四章测量数据的精度分析 仪器的精度问题主要涉及到光学系统的精度,系统放大率误差、以 及CCD精度等 4.1光学系统误差 (1)光源调整引起的误差 光源的调整不正确,会使照明光束偏离主轴。造成被测件投影一边 清晰,一边模糊。有实验表明:此项原因产生的误差一般不超过±2μ (2)光源的不平行性引起的误差δ2 用远心光路照明引起的误差为δ2=±1μ (3)放大系统放大率误差引起的测量误差δ3 本设计选用了放大误差不超过±001%的镜头。被测视场的最大范 围为10mm放大倍数为2 则6=±10×0.01%×2=2um (4)平行光边缘模糊误差δ 在光电尺寸检测仪器中,工作影像边缘的清晰度和对比度将直接关 系到CCD输出信号的波形。实际上,影像与与亮背景之间的界限在绝 非亮暗分明、影像边缘的照度也是渐变的。即存在着一个明暗过渡区, 这势必会影响仪器的测量精度。本尺寸检测仪中放大率为2X。CCD相 邻像素间距为14μm。平行光边缘模糊区有±1个单位。则=7um。 (5)装配误差 整个光学系统的装配是否同轴、其检测精度反映出不同的值。一般第四章 测量数据的精度分析 仪器的精度问题主要涉及到光学系统的精度,系统放大率误差﹑以 及 CCD 精度等。 4.1 光学系统误差 （1）光源调整引起的误差 1  光源的调整不正确，会使照明光束偏离主轴。造成被测件投影一边 清晰，一边模糊。有实验表明：此项原因产生的误差一般不超过±2μ m。 （2）光源的不平行性引起的误差 δ2 用远心光路照明引起的误差为 δ2=±1μm。 （3）放大系统放大率误差引起的测量误差 δ3 本设计选用了放大误差不超过±0.01％的镜头。被测视场的最大范 围为 10mm.放大倍数为 2  则 3   =    = 10 0.01% 2 2 m （4）平行光边缘模糊误差 4  在光电尺寸检测仪器中，工作影像边缘的清晰度和对比度将直接关 系到 CCD 输出信号的波形。实际上，影像与与亮背景之间的界限在绝 非亮暗分明﹑影像边缘的照度也是渐变的。即存在着一个明暗过渡区， 这势必会影响仪器的测量精度。本尺寸检测仪中放大率为 2 。CCD 相 邻像素间距为 14 m 。平行光边缘模糊区有±1 个单位。则 4  =7 m 。 （5）装配误差 整个光学系统的装配是否同轴、其检测精度反映出不同的值。一般