Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comfoRevaluationonly 几种电容结构 场区氯化 场区氧 衬底 理氧化层 下极板注入多品上极板 MoS电容 氧化硅介质多品上板 多品下极板 双层多晶硅(金属)厅家 叠置电容 p衬底 氧化硅多品硅上极板 阱区MoS电容 场区氧化 场区氧 理氧化层 n扩数区9 几种电容结构  MOS电容  双层多晶硅（金属） 叠置电容  阱区MOS电容 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only