北京大学：《集成电路原理与设计 Principle of Integrated Circuits》课程电子教案（数字集成电路原理与设计）chap3-2 CMOS工艺——无源器件

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation 集成电路原理与设计 3.3无源器件

集成电路原理与设计 3.3 无源器件 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly CMOS工艺:无源器件 集成电阻器 集成电容器 集成电路中的互连线

2 CMOS工艺:无源器件  集成电阻器  集成电容器  集成电路中的互连线 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft MOS工艺:n+或p+扩散电阻 金風 二氧化 p 场区氧化 N-we n 衬底 >50-1509/方块 >存在对衬底的寄生电容

3 MOS工艺： n+或p+扩散电阻 50－150Ω/方块 存在对衬底的寄生电容 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation MOS工艺:多晶硅电阻 多品砝电限 金風 场区氧化 村底 30-2009/方块

4 MOS工艺：多晶硅电阻 30－200Ω/方块 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft ttp//www.foxitsoftware.comForevaluation MOS工艺:阱电阻 金風 场区氧化 场区氧化 场区氧化 N-we n 底 1-10kg/方块

5 MOS工艺：阱电阻 1－10kΩ/方块 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Soft 电阻器的版图设计 场区氧化 场区氧化 场区氧化 開(扩散) 有源区(扩散) 有源区(扩散) 触孔 有源区或多品硅 金属 有源区 (扩散) L R R R Tw

6 电阻器的版图设计 , = L L R R R TW W T     ￾ ￾ Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly 0.8 um CMOS工艺中电阻器的性能参数 元件类型数值范围匹配精度温度系数电压系数 10-0/°C 10-/V p+扩散 80-150 0.4 1500 200 电阻 n+扩散 50-80 0.4 1500 200 电阻 Poly电阻 20-40 0.4 1500 100 n-welll 1-2k 8000 200 电阻

7 元件类型 数值范围 Ω/￾ 匹配精度 % 温度系数 10-6/°C 电压系数 10-6 /V p＋扩散 电阻 80-150 0.4 1500 200 n＋扩散 电阻 50-80 0.4 1500 200 Poly电阻 20-40 0.4 1500 100 n－well 电阻 1-2k － 8000 200 0.8μm CMOS工艺中电阻器的性能参数 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comForevaluationonly 集成电路中的元器件 集成电阻器 集成电容器 集成电路中的互连线

8 集成电路中的元器件  集成电阻器  集成电容器  集成电路中的互连线 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software ttp//www.foxitsoftware.comfoRevaluationonly 几种电容结构 场区氯化 场区氧 衬底 理氧化层 下极板注入多品上极板 MoS电容 氧化硅介质多品上板 多品下极板 双层多晶硅(金属)厅家 叠置电容 p衬底 氧化硅多品硅上极板 阱区MoS电容 场区氧化 场区氧 理氧化层 n扩数区

9 几种电容结构  MOS电容  双层多晶硅（金属） 叠置电容  阱区MOS电容 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only

Generated by Foxit PDF Creator Foxit Software http://www.foxitsoftware.comForevaluationonly EM2 多层金属:間 MIX 垂直电容 M2X 水平电容 托板红 M2 Q-0.1 M7 Pyx g-0.10 M6 顶板 底板 顶板 底板 3 g2-050 M5 g2-050 M4 料[料 0.70■ g-0.97目 M1 b

10 多层金属： 垂直电容 水平电容  - 0.97 M1  - 0.10 M6  - 0.10 M7  - 0.70 M2  - 0.50 M3  - 0.50 M4  - 0.50 M5 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software http://www.foxitsoftware.com For evaluation only