第五章硅外延生长 51外延生长概述 ■外延生长用来生长薄层单晶材料,即薄膜 外延生长:在一定条件下,在单晶衬底上, 生长一层合乎要求的单晶层的方法 生长的这层单晶叫外延层。(厚度为几微米)1 第五章硅外延生长 5.1外延生长概述 ◼ 外延生长用来生长薄层单晶材料，即薄膜 ◼ 外延生长：在一定条件下，在单晶衬底上， 生长一层合乎要求的单晶层的方法。 ◼ 生长的这层单晶叫外延层。（厚度为几微米）