外延生长分类 ■根据外延层性质 同质外延:外延层与衬底同种材料 如si/Si、GaAs/GaAs、GaP/GaP; 异质外延:外延层与衬底不同材料 如Si/A2O3、GaS/Si、 GaAlAs/GaAs; 正外延:器件制作在外延层上 反外延:器件制作在衬底上 22 外延生长分类 ◼ 根据外延层性质 正外延：器件制作在外延层上 反外延：器件制作在衬底上 同质外延：外延层与衬底同种材料 如Si/Si、GaAs/GaAs 、GaP/GaP; 异质外延：外延层与衬底不同材料 如Si/Al2O3、GaS/Si、GaAlAs/GaAs；