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各种电子枪的特性比较 热电子发射 场发射 性能特性 热阴极FEG LaB 冷阴极FEG ▣钨丝:亮度最小,价格便宜,电子能量散布 Z0/W(100) W(100) W(310) 为2.3eV,分辨率较差 亮度(在200kV时) 约5×103 约5×10 约5×10 约5×10 约5×10 /A·cm2·sr-1 口LaB6灯丝:亮度比钨丝佳,价格中等,电子 光源尺寸 50m 10m 0.1~1um 10100nm 10~100nm 能量散布为1.5eV,分辨率中等,使用寿命 能量发散度/cV 2.3 1.5 0.6-0.8 0.60.8 0.3-0.5 较长,须保持较高真空度 真空度/Pa 10-3 105 109 10-3 10-摩 使用条件 温度/K 28001-, 1800 1800 1600 300 口场发射式电子枪:亮度最佳,价格较高,电 电流/μA 约100 约20 约100 20100 20-100 子能量散布为0.3eV,分辨率最好,使用寿 短时间稳定度 1%一 1% 1% 7% 5% 命最长,须保持较高真空度 发射 长时间稳定度 1%/h 3%/h 1%/h 6%/h 5%/15min 电流效率 100% 100% 10% 10% 1% 安装稍费 维修 无需 无需 更换时,要 每隔几小时 时间 安装几次 必须进行一 次闪光处理 价格/操作性 便宜/简单 便宜/简单 贵/容易 贵/容易 贵/复杂 钨丝:亮度最小,价格便宜,电子能量散布 为 2.3eV,分辨率较差  LaB6 灯丝:亮度比钨丝佳,价格中等,电子 能量散布为 1.5eV,分辨率中等 ,使用寿命 较长,须保持较高真空度  场发射式电子枪:亮度最佳,价格较高,电 子能量散布为 0.3eV,分辨率最好,使用寿 命最长,须保持较高真空度
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