王南飞等：基于ANSYS的新型聚合物石英压电传感器振动性能分析 ·307· 表5不同薄膜厚度尺寸下1~10阶振动频率值 Table 5 Vibration frequency values of the sensor with different coating thickness sizes 厚度尺寸， 阶数 h/pm 2 3 4 5 6 7 8 9 10 166.16 188.01 499.86 529.23 532.47 1031.50 1100.9 1126.6 1184.5 1727.90 168.75 190.78 506.51 537.14 540.75 1047.50 1117.7 1143.8 1202.6 1754.20 3 171.35 193.55 513.12 545.05 549.04 1063.40 1134.6 1161.0 1220.7 1780.50 4 173.03 196.31 519.67 552.96 557.31 1079.30 1151.4 1177.9 1238.7 1806.80 5 176.51 199.08 526.20 560.87 565.57 1095.20 1168.2 1194.9 1256.6 1833.00 6 179.10 201.87 532.72 568.79 573.84 1111.10 1184.9 1211.8 1274.5 1859.20 7 181.68 204.65 539.21 576.70 582.11 1126.90 1201.7 1228.6 1292.3 1885.50 8 184.26 207.43 545.67 584.61 590.37 1142.70 1218.5 1245.4 1310.1 1911.60 9 186.84 210.22 552.12 592.52 598.62 1158.50 1235.2 1262.1 1327.8 1937.80 10 189.41 212.99 558.50 600.42 606.86 1174.20 1251.9 1278.6 1345.4 1964.00 11 191.98 215.76 564.88 608.32 615.09 1189.90 1268.6 1295.1 1363.1 1990.10 194.55 218.55 571.26 616.22 623.32 1205.60 1285.3 1311.5 1380.6 2016.20 197.13 221.37 577.71 624.13 631.58 1221.30 1302.0 1328.1 1398.1 2042.30 14 199.69 224.15 584.06 632.03 639.79 1236.90 1318.7 1344.4 1415.6 2068.40 15 203.11 229.56 607.38 645.76 650.97 1262.05 1343.0 1380.0 1450.7 2113.85 (a) 600r 205 230( 200 ■ 580H 195 220 190 560 210 540 200 520 170 190 ■ 165 500 180 0 4 6 810121416 0246810121416 0 4 6810121416 h/um h/μm h/um 640(d山 660 (e) 640 1250f) 620 620 1200 600 600 1150 580 ◆◆ 560 1100 540 540 1050 520 024 6810 1416 520 0246810121416 1000 024681012416 h/um h/um h/um 1400 1350L(g (b) 1350 1300 1250 1250 1200 1200 1150 1150 1100 0 1100 2 4 6810121416 4 6810121416 h/um h/um 1450 2100 ■ 2050 1400 2000 1350 1950 1300 1900 ◆ ◆ 1850 1250 1800 ◆ 1200 1750 ■ 1I50 1700 02 4 6810121416 024 6810121416 h/um h/uim 图6第1~10阶固有频率.(a)第一阶：(b)第二阶：(c)第三阶：(d)第四阶：(e)第五阶：(f)第六阶：(g)第七阶：(h)第八阶：(i)第九阶： (G)第十阶 Fig.6 Natural frequeney values of Order 1 to Order 10:(a)Order 1;(b)Order2;(c)Order3;(d)Order4;(e)Order 5;(f)Order 6;(g) Order 7;(h)Order 8;(i)Order 9;(j)Order 10王南飞等: 基于 ANSYS 的新型聚合物石英压电传感器振动性能分析 表 5 不同薄膜厚度尺寸下 1 ~ 10 阶振动频率值 Table 5 Vibration frequency values of the sensor with different coating thickness sizes 厚度尺寸, h / 滋m 阶数 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 1 166郾 16 188郾 01 499郾 86 529郾 23 532郾 47 1031郾 50 1100郾 9 1126郾 6 1184郾 5 1727郾 90 2 168郾 75 190郾 78 506郾 51 537郾 14 540郾 75 1047郾 50 1117郾 7 1143郾 8 1202郾 6 1754郾 20 3 171郾 35 193郾 55 513郾 12 545郾 05 549郾 04 1063郾 40 1134郾 6 1161郾 0 1220郾 7 1780郾 50 4 173郾 03 196郾 31 519郾 67 552郾 96 557郾 31 1079郾 30 1151郾 4 1177郾 9 1238郾 7 1806郾 80 5 176郾 51 199郾 08 526郾 20 560郾 87 565郾 57 1095郾 20 1168郾 2 1194郾 9 1256郾 6 1833郾 00 6 179郾 10 201郾 87 532郾 72 568郾 79 573郾 84 1111郾 10 1184郾 9 1211郾 8 1274郾 5 1859郾 20 7 181郾 68 204郾 65 539郾 21 576郾 70 582郾 11 1126郾 90 1201郾 7 1228郾 6 1292郾 3 1885郾 50 8 184郾 26 207郾 43 545郾 67 584郾 61 590郾 37 1142郾 70 1218郾 5 1245郾 4 1310郾 1 1911郾 60 9 186郾 84 210郾 22 552郾 12 592郾 52 598郾 62 1158郾 50 1235郾 2 1262郾 1 1327郾 8 1937郾 80 10 189郾 41 212郾 99 558郾 50 600郾 42 606郾 86 1174郾 20 1251郾 9 1278郾 6 1345郾 4 1964郾 00 11 191郾 98 215郾 76 564郾 88 608郾 32 615郾 09 1189郾 90 1268郾 6 1295郾 1 1363郾 1 1990郾 10 12 194郾 55 218郾 55 571郾 26 616郾 22 623郾 32 1205郾 60 1285郾 3 1311郾 5 1380郾 6 2016郾 20 13 197郾 13 221郾 37 577郾 71 624郾 13 631郾 58 1221郾 30 1302郾 0 1328郾 1 1398郾 1 2042郾 30 14 199郾 69 224郾 15 584郾 06 632郾 03 639郾 79 1236郾 90 1318郾 7 1344郾 4 1415郾 6 2068郾 40 15 203郾 11 229郾 56 607郾 38 645郾 76 650郾 97 1262郾 05 1343郾 0 1380郾 0 1450郾 7 2113郾 85 图 6 第 1 ~ 10 阶固有频率. (a)第一阶;(b)第二阶;(c)第三阶;(d)第四阶;(e)第五阶;( f)第六阶;( g)第七阶;( h)第八阶;( i)第九阶; (j)第十阶 Fig. 6 Natural frequency values of Order 1 to Order 10: (a) Order 1; (b) Order 2; (c) Order 3; (d) Order 4; (e) Order 5; (f) Order 6; (g) Order 7; (h) Order 8; (i) Order 9; (j) Order 10 ·307·