·306· 工程科学学报，第39卷，第2期 205 235 620 (b) 200 5 600 2 580 195 560 215 ■ 190 ◆ 540 ■■ 210 205 520 185 500 200 00.51.01.52.02.53.03.54.0 00.51.01.52.02.53.03.54.0 00.51.01.52.02.53.03.54.0 r/mm r/mm r/mm 650 660 1300 650 640 ( (e) (f) 640 1250 630 ◆ 620 630 1200 ◆ 620 610 610 1150 600 600 ◆ 590 1100 590 580 580 1050 00.51.01.52.02.53.03.54.0 00.51.01.52.02.53.03.54.0 00.51.01.52.02.53.03.54.0 r/mm r/mm r/mm 1400 1350 g 1360 1300 ◆ 1250 ◆ ◆ 1280 1200 ◆ 1240 1150 ■ 1200 00.51.01.52.02.53.03.54.0 00.51.01.52.02.53.03.54.0 r/mm r/mm 2150r 1450 ⊙ 2100 () ◆ 2050 1400 2000 1350 1950 1900 1300 ■ 1850 1250 1800 00.51.01.52.02.53.03.54.0 00.51.01.52.02.53.03.54.0 r/mm r/mm 图5第1~10阶固有频率.(a)第一阶：(b)第二阶：(c)第三阶：(d)第四阶：(e)第五阶：(f)第六阶：(g)第七阶：(h)第八阶；(i)第九阶： (j)第十阶 Fig.5 Natural frequency values of Order 1 to Order 10:(a)Order 1;(b)Order 2;(c)Order 3;(d)Order4;(e)Order 5;(f)Order 6;(g) Order 7;(h)Order 8;(i)Order 9;(j)Order 10 面聚合物涂层厚度是决定传感器工作性能的关键指 势，新型聚合物石英压电传感器的制备中应严格控制 标.新型聚合物石英压电传感器制备中，应严格控制 薄膜缺陷半径小于0.5mm. 聚合物涂层厚度. (2)新型聚合物石英压电传感器的固有频率随着薄 膜厚度的增加，其固有频率值线性增大，此结果说明新型 4结论 聚合物石英压电传感器的表面聚合物涂层厚度为决定传 (1)新型聚合物石英压电传感器的固有频率随着 感器工作性能的关键指标.因此新型聚合物石英压电传 聚合物薄膜缺陷半径值的增大呈现出稳定到发散的趋 感器制备中，应严格控制聚合物涂层厚度的均匀性工程科学学报,第 39 卷,第 2 期 图 5 第 1 ~ 10 阶固有频率. (a)第一阶;(b)第二阶;(c)第三阶;(d)第四阶;(e)第五阶;( f)第六阶;( g)第七阶;( h)第八阶;( i)第九阶; (j)第十阶 Fig. 5 Natural frequency values of Order 1 to Order 10: (a) Order 1; (b) Order 2; (c) Order 3; (d) Order 4; (e) Order 5; (f) Order 6; (g) Order 7; (h) Order 8; (i) Order 9; (j) Order 10 面聚合物涂层厚度是决定传感器工作性能的关键指 标. 新型聚合物石英压电传感器制备中,应严格控制 聚合物涂层厚度. 4 结论 (1) 新型聚合物石英压电传感器的固有频率随着 聚合物薄膜缺陷半径值的增大呈现出稳定到发散的趋 势,新型聚合物石英压电传感器的制备中应严格控制 薄膜缺陷半径小于 0郾 5 mm. (2) 新型聚合物石英压电传感器的固有频率随着薄 膜厚度的增加,其固有频率值线性增大,此结果说明新型 聚合物石英压电传感器的表面聚合物涂层厚度为决定传 感器工作性能的关键指标. 因此新型聚合物石英压电传 感器制备中,应严格控制聚合物涂层厚度的均匀性. ·306·