硅中的杂质扩散 杂质 SiHSihSi 空位 Si a)硅晶体结构 b)替代扩散 在间隙位 置的杂质 在间隙位置被 转移的硅原子 Si c)机械的间隙转移 d)间隙扩散 半导体制造技术 Figure 17.4 by michael Quirk and Julian Serda 电信学院微电子教研室电信学院 微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 硅中的杂质扩散 在间隙位置被 转移的硅原子 Si Si Si Si Si Si Si Si Si c) 机械的间隙转移 Si Si Si Si Si Si Si Si Si a) 硅晶体结构 b) 替代扩散 Si Si Si Si Si Si Si Si 空位 杂质 d) 间隙扩散 Si Si Si Si Si Si Si Si Si 在间隙位 置的杂质 Figure 17.4