固态扩散的目的 在晶园表面产生一定数量的掺杂原子(浓度) 在晶园表面下的特定位置处形成NP(或PN)结 在晶园表面层形成特定的掺杂原子(浓度)分布 ·结的图形显示 Z4 理想的 横向扩散 半导体制造技术 by michael Quirk and Julian Serda 电信学院微电子教研室电信学院 微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 固态扩散的目的 • 在晶园表面产生一定数量的掺杂原子（浓度） • 在晶园表面下的特定位置处形成NP(或PN)结 • 在晶园表面层形成特定的掺杂原子(浓度)分布 • 结的图形显示 理想的 横向扩散