浓度随深度变化的曲线 14 12 10 8642 208642 结位置 晶圆纵深方向 深度(层数 深度(层数) 半导体制造技术 by michael Quirk and Julian Serda 电信学院微电子教研室电信学院 微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 浓度随深度变化的曲线 晶圆纵深方向 杂质浓度 浓度（原子数量） 深度（层数） 浓度（原子数量） 深度（层数） 结位置 14 12 10 8 6 4 2 14 12 10 8 6 4 2 ( a) ( b) ( c) 0 1 2 3 4 5 6 0 1 2 3 4 5 6 O