扩散工艺 完成扩散过程所需的步骤: 1.进行质量测试以保证工具满足生产质量标准; 2.使用批控制系统,验证硅片特性: 3.下载包含所需的扩散参数的工艺菜单; 4.开启扩散炉,包括温度分布; 5.清洗硅片并浸泡氢氟酸,去除自然氧化层 6.预淀积:把硅片裝入扩散炉,扩散杂质; 7推进:升高炉温,推进并激活杂质,然后撤除 硅片; 8.测量、评价、记录结深和电阻 半导体制造技术 by michael Quirk and Julian Serda 电信学院微电子教研室电信学院 微电子教研室 半导体制造技术 by Michael Quirk and Julian Serda 扩 散 工 艺 完成扩散过程所需的步骤： 1. 进行质量测试以保证工具满足生产质量标准； 2. 使用批控制系统，验证硅片特性；. 3. 下载包含所需的扩散参数的工艺菜单； 4. 开启扩散炉，包括温度分布； 5. 清洗硅片并浸泡氢氟酸，去除自然氧化层； 6. 预淀积：把硅片装入扩散炉，扩散杂质； 7. 推进：升高炉温，推进并激活杂质，然后撤除 硅片； 8. 测量、评价、记录结深和电阻