D0I:10.13374/i.issn1001-053x.1989.01.013 第1卷第1期 北京科技大学学报 Vol.11 No.1 1989年1月 Journal of University of Science and Technology Beijing J3n1989 化学气相沉积耐磨涂层TN的温度选择 张林荣张福林 (稀治物化教研室) 橘要：化学气相沉积(CVD)TiN涂层在模具上涂复3~10=m可使模具寿命提 高3一4倍，本文研究指出：沉积温度对沉积速事，涂层硬度及对基体Ct12MoV硬度和尺寸 都有影响。在950一1000C间可以得到接近化学计量的TiN,其硬度Hv1=20000N/mm2, 基体尺寸变化在万分之五以内。 关键词：涂层，模具，CVD,TiN Selection of Temperature for Chemical Vapor Deposition of Wear-Resistance TiN Films Zhang Linrong Zhang Fulin ABSTRACT:The effects of the deposition temperature on the chemical vapor deposition (CVD)rate,the bulk hardness value of TiN deposite and the hardness and the dimension of the steel base were investigated.TiN film ob- tained at temperatures between 950 and 1000C,were stoichiometric composition, golden-yellow in color,and the high hardness (Hv,2000N/mm2).The hardness and dimension of the steel base depond on the deposition temperature.The variety of dimension for the steel base is less than 0.0005 if it is tempered after deposition. KEY WORDS:coating,die,TiN film,CVD CVD法沉积的TN涂层具有硬度高，摩擦系数小，抗粘结性好，有自润滑性能，耐蚀 耐氧化和耐磨等优点1’)。若将TN用CVD沉积在模具上，可提高模具使用寿命。不同的 工艺条件，尤其是温度对涂层和基体的性能有着显著的影响。因此，通过研究选择合适的温 1987一12一21收稿 9第 卷第 期 北 京 科 、 、 年 月 技 大 学 学 报 。 。 化 学气相沉积耐磨涂层 的温度选择 张林荣 张福 林 稀 冶 物化 教研 室 摘 要 化 学 气相 沉 积 功 叭 涂 层在模 具上 涂 复 一 。 ， 可使 模 具 寿 命 提 高 倍 。 本文研究指 出 沉积温度对 沉积速率 、 涂 层硬 度 及对 基体 硬 度 和 尺 寸 都有影 响 。 在 间可以得 到 接近 化学 计量 的 ， 其硬 度 、 ， 幕体尺寸变化在万分之 五 以 内 。 关挑 词 涂层 ， 模 具 ， ， 物 一 娜气 才” 了 五 ， 卜 “ ， 五 ， 一 ， 、 忍 · · 。 · ， ， ， 法 沉积的 涂层具育硬度 高 ， 摩擦系数小 ， 抗粘结性好 ， 有 自润 滑性能 ， 耐 蚀 耐氧化和耐 磨等优 点 〔 ” ’ 。 若将 用 沉积在模具上 ， 可提 高模具使用 寿命 。 不 同 的 工艺 条件 ， 尤 其是温 度对涂层和 基体 的性能有 着显 著的影响 。 因此 ， 通过研究选择合适的温 玲叨一 一邵 收 碱 钾 DOI ：10．13374／j ．issn1001－053x．1989．01．013