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§8.2均匀控制系统 ◆当系统中具有两个相互关联的参数,其 中任意一个参数的稳定必然导致另一个 参数的大幅度变化,而工艺上需要两者 兼顾时,可采用均匀控制。 ◆均匀控制的目标: 两个参数都是变化的,且变化缓慢 两个参数的变化范围都要尽可能小。§8.2 均匀控制系统  当系统中具有两个相互关联的参数,其 中任意一个参数的稳定必然导致另一个 参数的大幅度变化,而工艺上需要两者 兼顾时,可采用均匀控制。  均匀控制的目标: – 两个参数都是变化的,且变化缓慢; – 两个参数的变化范围都要尽可能小
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