第章半导体传感器 加热方式:一般有直热式和旁热式两种→形成了直热式 和旁热式气敏元件 直热式气敏器件的结构及符号如图9-3所示。直热式器件是将加热 丝、测量丝直接埋入SnO2或ZnO等粉末中烧结而成的,工作时加热丝通 电,测量丝用于测量器件阻值。这类器件制造工艺简单、成本低、功耗 小,可以在高电压回路下使用,但热容量小,易受环境气流的影响, 测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响。国产QN型和日本费加罗 TGS#109型气敏传感器均属此类结构。 SnO2烧结体∠3 IrP哈金丝 (加热器兼电极) 24 (a)图93直热式气敏器件的结构及符号(b) (a)结构;(b)符号第9章 半导体传感器 加热方式：一般有直热式和旁热式两种→形成了直热式 和旁热式气敏元件。 直热式气敏器件的结构及符号如图9-3所示。直热式器件是将加热 丝、 测量丝直接埋入SnO2或ZnO等粉末中烧结而成的，工作时加热丝通 电，测量丝用于测量器件阻值。 这类器件制造工艺简单、成本低、功耗 小，可以在高电压回路下使用， 但热容量小， 易受环境气流的影响， 测量回路和加热回路间没有隔离而相互影响。国产QN型和日本费加罗 TGS＃109型气敏传感器均属此类结构。 1 2 3 4 SnO2 烧 结 体 Ir—Pd合 金 丝 (加 热 器 兼 电 极 ) 1 3 2 4 2 4 1 3 (a) (b) 图 9-3 直热式气敏器件的结构及符号 (a) 结构；(b) 符号