三、非制冷红外探测器 986 2.非制冷红外焦平面阵列技术 (1) 热绝缘结构的重要性 ②霍尼韦尔公司：单片集成式测热辐射计阵列采用的微桥结构 ◆桥面层位于在带读出电路的S衬底上方，由二只桥腿支撑。 ◆微桥结构采用牺牲层技术形成。 ◆桥面层一般由支撑层SNx薄膜、热敏薄膜、钝化层等组成 ◆桥腿：电学通道、支撑桥面、热传导途径 50μm 氨化硅和氧化钒 红外辐射 X一金丽 单片式双极性品体蕾 电子料技大学敏感材料与传感器课程组 制三、非制冷红外探测器 2.非制冷红外焦平面阵列技术 （1） 热绝缘结构的重要性 ②霍尼韦尔公司：单片集成式测热辐射计阵列采用的微桥结构 u桥面层位于在带读出电路的 Si 衬底上方，由二只桥腿支撑。 u微桥结构采用牺牲层技术形成。 u桥面层一般由支撑层SiNx薄膜、热敏薄膜、钝化层等组成 u桥腿：电学通道、支撑桥面、热传导途径