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三、非制冷红外探测器 /986 2.非制冷红外焦平面阵列技术 (1)热绝缘结构的重要性 ■微桥结构的热流方程式 ◆假定像元敏感区具有热容量C,主要热损耗机理的热传导(通常是支撑结 构的热传导)是G,假定功率幅度为P。的瞬时调制红外辐射落到该像元上 ,被吸收的入射辐射部分为η,辐射调制的角频率为ω,像元敏感区的温 度增加△T,那么表达该像元的热流方程式就是: Cd(AT)+G(AT)=nPoexp(jwt) dt 其中,j=√一1,t是时间 电子科技大学敏感材料与传感器课程组 制作三、非制冷红外探测器 2.非制冷红外焦平面阵列技术 (1) 热绝缘结构的重要性 u假定像元敏感区具有热容量C ,主要热损耗机理的热传导(通常是支撑结 构的热传导)是 G ,假定功率幅度为P0的瞬时调制红外辐射落到该像元上 ,被吸收的入射辐射部分为η,辐射调制的角频率为ω,像元敏感区的温 度增加△T ,那么表达该像元的热流方程式就是: 其中 ,t是时间 n 微桥结构的热流方程式
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