表1面心立方CrC的电子衍射标定，a=0.403nm Table 1 The identification of electron diffraction rings of fcc Cr carbide with a=0,403nm. d(评述值)nm d(计算值)nm 识别hk1 强度 0.2330 0.2329 111 强 0.2017 0.2017 002 0.1427 0.1126 022 卑 0.1218 0.1216 113 瑞 0.1166 0.116 222 弱 0.0901 0.0902 024 弱 0.0820 0.0823 224 弱 符合一般的NaCI型面心立方的强度变化规律。见图1，因此我们认为这一相是具有NaC1型的 面心立方结构。 离子束相变的一个特点是容易形成简单晶体结构相7)，如简单立方、固溶体、或非晶相， 而不容易形成复杂的晶体结构，这是因为离子束动力学过程时间短，原子大规模的重新组合 受到限制。而且熔化半径小，与结晶所需的临界尺寸接近，简单结构一般临界尺寸小，容易 稳定下来，面复杂结构一般临界尺寸大，不容易突破临界尺寸而稳定下来。由于这一特点， C的碳化物中其它热处理方法容易形成的相，如渗碳体型的正交结构CsC,复杂面心立方 结构的C23Cg,等在离子注入方法中不容易形成。相反，简单结构相，即使热处理方法不 2 Cr 100 200 3004005006007008009001000 Kinetic energy/eV 图2Cr膜离子注入后的一张俄欧微分谱，272℃V处的碳KLL峰形 说明了过波金展碳化物的形成 Fig.2 A typical differential Auger spectrum observed on the carbon ion implanted Cr thin film.The Carbon KLL lines sgape indicates the formation of transition metal carbide. 480表 1 面心 立方 rc C的电子衍射标定 。 a = O 。 4 On3 m T a b l e T h e i d e o t i f i e a t i o n o f e l e e t r o n d i f f r a e t i o n r i n g s o f f e e C r e a r b i d e w i t h a = 0 。 4 0 3 n m 。 d (评 述值 ) n m d (计算值 ) n m 识别 h k l 强 度 川 强强弱弱 20243104 0 。 2 3 3 0 0 。 2 0 17 0 。 142 7 0 。 12 18 0 。 1 16 6 0 。 0 9 0 1 O 。 0 82 0 0 。 2 32 9 0 。 2 0 17 0 。 1 」 !2 6 0 。 12 16 0 。 1 16 4 0 。 0 9 02 0 。 0 82 3 符合 一般的 N “ lC 型 面心立 方的强 度变化规律 。 见 图 1 , 因此我们认 为这一相是具有N a CI 型 的 面心立方结构 。 离 子束相变 的一个特 点是容易形成简单晶体结构相 ` 7 〕 , 如 简单立方 、 固溶体 、 或 非晶 相 , 而不容易形成 复杂的 晶体结构 , 这是因为离子束动力学过程时间短 , 原子大规模的重新组合 受到限制 。 而且熔化半径小 , 与结晶所需的临界尺寸接近 , 简单结构一般 临界尺 寸小 , 容易 稳定下来 , 而复杂 结构一 般临界 尺寸大 , 不容易突破临界 尺寸而稳定 下来 。 由 于这一特点 , C r 的碳 化物 中其它热处理方法容易 形成的相 , 如渗碳体型 的正交结构C r 3 C , 复杂面心 立 方 结构的 C r 2 3 C 6 , 等在离子注 入方法中不容易形成 。 相反 , 简单结构相 , 即使热处 理 方 法 不 鼠 向 , ! , { { ) { i - 又训 { 司` 动八 内 . 一 月 J J飞 ! 肿 , … 月尸 , , , . , . , - , , , } }l ) C _ 匕 Ki n e t 主e e n e r g y / e V 图2 C r 膜 离子 注入 后的一张 俄歇微 分谱 , 2 7 2 e v 处 的碳 K L L 峰形 说 明 了过渡 金属碳化物 的形 成 F 1 9 . 2 A t y P i e a l d i f f e r e n t i a l A u g e r s P e c t r u 皿 o b s e r v e d o n t h e C a r b o n i o n i m P l a n t e d C r t h i n f i l m . T h e C a r b o 几 K L L l i n e s S g a P e i n 通元c a t e s t h e f o r 犯 a t i o n o f t r a n s i t i o n m e t a l e a r b i d e , 4 8 0