的例子。 1实验方法 在刚解理的NC1基体上用电子枪蒸镀方法镀上一定厚度的金属膜。厚度由注入离子的 能量通过现有的TRIM程序(3)计算离子注入的深度来确定，实验镀膜时，通过一台膜厚监 控仪控制，用40kcVC离子注入，注入金属的深度在100nm左右，注人金属是Ti,V,Cr 等。 离子注入是在北京机械工业自动化所的注人机上进行的，该机特点是离子束斑面积大， 实验样品一次注人可以放很多。束流也大，约3μA/cm2,适用于高剂量注人。本论文实验 中注人的剂量在101？/cm2数量级，与基体单位面积的原子密度数量级相同，从而可以方便 地获得所需的化学配比。另外该机有流动水冷却靶，避免了注入升温对样品造成的副作用。 因为膜厚在100m左右，可以方便地在电子显微镜上观察和分析。也可以方便地在俄歇 谱仪上进行深度成分分布。进行深度测量时先用Ar离子溅射去一层，溅一次再测一次。 2结果和讨论 注入剂量到2,5×10171cm2时，Ti、V和Cr膜上都发生了相变，电子衍射如图1。经分 析，对照粉末衍射卡片r4),Ti和V中都形成了NaC1型面心立方，而Cr没有类似的条目，所 有有关碳化铬的条目都与分析结果不符，分析结果列于表1，同一个晶格常数为a=0,403nm的 面心立方结构符合较好。 图1Ti、V和Cr膜的碳离子注入后的电子衍射照片 (a)Ti; (b)V;(C)Cr. Fig.1 The electron diffraction patterns observed on the carbon ion implanted metal thin films of Ti,V and Cr 在Pearson相图s)手册上有一条关于NaC1型面心立方，但仔细查它列出的参考文献：)， 发现参考文献的结论是，用了各种方法都没有形成CC。而且文中还建议下一种可能形成 CrC的方法是快速急冷。因此Pearson手册上的这一条目是可疑的，而且.这一条目的品格常 数与本文发现的相有较大偏差，它的数值为0.362nm。 从强度变化来看，C的碳化物相与Ti和V的碳化物相的电子衍射环强度变化一致，而且 479的例子 。 实 验 方 法 1 在刚解理 的 N a 基体上用电子 枪蒸镀方法镀上一定厚度的金属 膜 I C 。 厚度由注 入 离 子 的 R T 能量通过 现有的 程序 M I 〔 “ ’ 计算离子 注 入的 深度来确定 , 实验镀 膜 时 , 通过 一 台 膜 厚 监 控仪 控制 , 用4 o k e V C 离子 注 入 , 注 入金属 的 深度 在 10 l0 m 左 右 , 注 入 金 属 是 iT , V , C r 等 。 离 子 注入是 在北京机械工 业 自动化所的 注 入机上 进行 的 , 该机 特点 是离 子束斑 面积大 , 实验样品 一次 注入 可以放很 多 。 束流也 大 , 约 3协 A / 。 m “ , 适用 于高剂量注 入 。 本论 文 实 验 中注入 的剂 量在 1 0 ” / c m “ 数量 级 , 与基 体单位 面积 的原子密度数 量级 相 同 , 从 而可 以 方 便 地 获得所需的化学配 比 。 另外 该机 有流 动水 冷却靶 , 避 免 了注 入升 温 对样 品造 成的副 作用 。 因为膜 厚在 1 0 o n m 左 右 , 可 以方便地在电子显微 镜上观 察和 分析 。 也 可 以方便地 在俄 歇 谱仪 上进行深度成分分布 。 进行深度测量 时先用 A r 离子 溅 射去 一层 , 溅 一 次再 测一 次 。 2 结 果和讨论 注 入剂量到 2 . 5 x 1 0 ` ’ / c m Z 时 , iT 、 V 和 C r 膜上都发 生 了相变 , 电子衍 射 如 图1 。 经分 析 , 对 照粉末衍射卡片 〔 ` 〕 , iT 和 V 中都形成 了N a CI 型 面心 立方 , 而 C r 没 有类 似的条 目 , 所 有有关碳 化铬 的条 目都与分析结果不符 , 分析结果列于表1 , 同一 个晶格常数为 。 二 o . 4 0 3 n m 的 面心 立方结构符合较 好 。 巍燃熬一 图 I T 王 、 v 和 C r 膜 的 碳离子注 入 后的 电 子 衍射 照 片 ( a ) T i ; F 1 9 , 1 T h e e l e c t r o n d i f f r a c t i o n ( b ) V ; ( C ) C r . P a t t e r n s o b s e r v e d o n t h e e a r b o n i o n i m P l a n t e d m e t a l t h i n r i l m , o f T i , V a n d C r 在 P e a r s o n 相 图 〔 “ ’ 手册上有一条 关于 N a CI 型 面心 立 方 , 但 仔细查 它列 出的参 考 文献 〔 6 〕 , 发 现参考 文献 的结论 是 , 用 了各种方法都没有形成 C r C 。 而且文 中还 建议 下一 种 可 能 形 成 C r C 的方法 是快速急冷 。 因此 P e a r s o n 手 册上 的这一 条 目是可疑 的 , 而 且这 一条 目的 晶 格 常 数 与本文 发现 的相 有较大偏差 , 它 的数 值为 0 . 36 2 n m 。 从 强度 变化来看 , C r 的碳化 物相与iT 和 V 的碳化物相的电子衍射环强 度变 化一致 , 而且 4 7 9