D0I:10.13374/i.issn1001-053x.1992.04.030 北京科技大学学报 第14卷第4期 Vol.14 No.4 1992年7月 Journal of University of Science and Technology Beijing Ju1y.1992 NaCl型面心立方CrC的形成 王坚·方正知 摘要：用离千注入方法形成了NaC1型面心立方CrC。电子衍射确定其品格常数为 0.403nm。原位加热到250℃左右，其电子衍射环消失，表明它是亚稳的。按Miedmai形成 热计算方法计算，它的形成热为~29,4kJ/血o1,说明它可能是一个亚稳相，俄歌谱也证实 这一碳化相的存在。 关健词：离子注人，相，形成热，CrC NaCl Type fcc Cr Carbide Formation Wang Jian'Fang Zhenzhi" ABSTRACT:A simple fcc Cr carbide was formed for the firal time by carbon ion implantation into Cr thin filma,Laltice constant delermined by electron diffraction was 0.403nm.In situ annealing in TEM showed it exited upto a temperature about 250C.The carbide phase was further confirmed by Auerg electron spectra,The meidema heat of formation was -29.4kJ/mol, KEY WORDS:ion implanlation.phasc,heat of formation,CrC 离子注入合金是近代材料科学领域的一个十分活跃的前沿。由于它在半导体工业，表面 科学，新材料合成等领域的巨大潜力，日益受到广泛的重视，离子束过程是一个非平衡动力 学过程，与通常的热平衡治金方法有显著区别。就相形成来说，离子束方法可以形成不受相 律限制的超饱和固溶体；因为冷却速率快，容易形成非晶相<1)；也可能形成热平衡方法难 以形成的相。本文报导的NaCI型面心立方CC和作者不久前发现的六方碳化钴2)就是典型 1991-10-29收稿 。材料物理系(Department of Materials phgsics) 478第1 4卷第 4 期 1 9 92 年 7 月 北 京 科 技 大 学 学 报 J o u r n a l o f U n i v e r s i t y o f S e i e n e e a n d T e e h n o l o g y B e i j i n g V o l 。 1 4 N o . 4 J u 1 y . 1 99 2 、 , . N a CI 型面心立方C r C的形成 王 坚 . 方 正 知 ’ 摘 要 : 用离子注 人方法 形成了 N ac l型面 心立方 cr c 。 电 子衍射 确定 其 晶 格 常 数 为 。 . 4 o 3n m 。 原位加 热到 2 50 ℃ 左右 , 其电子衍射环 消失 , 表明它是亚稳 的 。 按 M ie d m a 形成 热计算方法计算 , 它的形成热为 一 29 . 4k J/ m ol , 说 明它可 能是一 个亚 稳相 , 俄歇谙 也证实 这一碳化相的存在 。 关键词: 离子注人 , 相 , 形成热 , cr c N a C I T y p e f e e C r C a r b i d e F o r m a t i o n 下 a n g J i a n . F a n g Z h e n z h 泣 . A B S T R AC T : A s i m p l e f e e C r e a r b i d e w a s f o r m e d f o r t h e f i r a l t i m e b y e a r b o n i o n i m p l a n t a t i o n i n t o C r t h i n f i lm a . L a lt i e e e o n s t a n t d e l e r m i n e d b y e l e e t r o n d i f f r a e t i o n w a s o 。 4 0 3 n rn 。 I n s i t u a n n e a li n g i n T E M s h o w e d i t e x i t e d u p t o a t e m p e r a t u r e a b o u t 2 5 0 oC . T h e e a r b i d e p h a s e w a s f u r t h e r e o n f i r m e d b y A u e r g e l e c t r o n s p e c t r a . T h e m e i d e m a h e a t o f f o r o a t i o o w a s 一 2 9 。 4 k J / m o l 。 K E Y W O R D S : i o n i m p l a n l a t i o n . p h a s e , h e a t o f f o r m a t i o n , C r C 、 , 肠 离 子注人合 金是近代材料科 学领域 的一 个十分活跃的前沿 。 由于它在半导 体工业 , 表面 科学 , 新材料合成等领域的巨大潜力 , 日益 受到广泛 的重视 , 离子束过程是一个非平 衡动力 学过程 , 与通常的热平衡冶 金方法有显著区别 。 就相形成来说 , 离 子束方法可以 形成不受相 律限 制的超饱和 固溶体 ; 因为 冷却速率快 , 容易形成非晶相 〔 ` ’ ; 也可能形 成热 平衡方 法 难 以形成的相 。 本文报导 的N a CI 型 面心立方C r C和作者不久前发 现的六 方碳化钻 〔 2 ’ 就 是 典 型 1 99 1 一 1 0 一 2 9 收 稿 材料物理系 ( D e P a r t m e n t o f M a t e r i a l s P h g s i e s ) 4 7 8 DOI: 10. 13374 /j . issn1001 -053x. 1992. 04. 030