第章半导体传感器 2.非电阻型半导体气敏传感器 制作机理:它是利用MOS二极管的电容一电压特性的变化以及 MOS场效应晶体管( MOSFET)的阈值电压的变化等物性而制成 的气敏元件。由于类器件的制造工艺成熟,便于器件集成化, 因而其性能稳定且价格便宜。利用特定材料还可以使器件对某 些气体特别敏感。第9章 半导体传感器 2. 制作机理： MOS二极管的电容—电压特性的变化以及 MOS场效应晶体管(MOSFET) 的阈值电压的变化等物性而制成 的气敏元件。由于类器件的制造工艺成熟，便于器件集成化， 因而其性能稳定且价格便宜。 利用特定材料还可以使器件对某 些气体特别敏感