PECVD的主要优点 ■ PECVD方法区别于普通CVD方法的特点在于 等离子体中含有大量高能量的电子,它们可间 接地提供CVD过程所需要的激活能 电子与气相分子的碰撞可促进气体分子的分解 化合、激发和电离,生成活性很高的各种化 学基团,显著降低CVD薄膜沉积的温度 而普通CVD过程的进行依赖于反应的速率 那时,热能是使过程得以进行的激活能的来源PECVD 的主要优点 ◼ PECVD方法区别于普通CVD方法的特点在于 等离子体中含有大量高能量的电子，它们可间 接地提供CVD过程所需要的激活能 ◼ 电子与气相分子的碰撞可促进气体分子的分解 、化合、激发和电离，生成活性很高的各种化 学基团，显著降低CVD薄膜沉积的温度 ◼ 而普通CVD过程的进行依赖于反应的速率 那时，热能是使过程得以进行的激活能的来源 RT E k k e + − + + = 0