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当x<<d时2 则C=C0(1 1+3) 由式(3-5)可以看出电容量C与x不是线性关系,只有当x<<d时,才可认为是最近似线形 关系。同时还可以看出,要提高灵敏度,应减小起始间隙d过小时。但当d过小时,又容易引 起击穿,同时加工精度要求也高了。为此,一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数高的 物质来改善这种情况。在实际应用中,为了提高灵敏度,减小非线性,可采用差动式结构。 313变介电常数式电容传感器 当电容式传感器中的电介质改变时,其介电常数变化,从而引起了电容量发生变化。此类 传感器的结构形式有很多多种,图35为介质面积变化的电容式传感器。这种传感器可用来 测量物位或液位,也可测量位移。 由图中可以看出,此时传感器的电容量为C=C4+C;其中:Cd+C=(1-x) 8, bl (d1+d2)/4 设极板间无c2介质时的电容量为:C0=d+d1:当2介质插入两极板间则有: C=CA+CB bx b(l-x =Cn(1+ d. dd,+d -) E (3-1-7) E1 E2 E 8 式(3-7)表明,电容量C与位移x呈线性关系。当x<<d时 则 (3-1-6) 由式(3-5)可以看出电容量C与x不是线性关系,只有当 x<<d时,才可认为是最近似线形 关系。同时还可以看出,要提高灵敏度,应减小起始间隙d过小时。但当d过小时,又容易引 起击穿,同时加工精度要求也高了。为此,一般是在极板间放置云母、塑料膜等介电常数高的 物质来改善这种情况。在实际应用中,为了提高灵敏度,减小非线性,可采用差动式结构。 1 1 2 2 −  d x (1 ) 0 d x C = C + 3.1.3 变介电常数式电容传感器 当电容式传感器中的电介质改变时,其介电常数变化,从而引起了电容量发生变化。此类 传感器的结构形式有很多多种,图3.1.5为介质面积变化的电容式传感器。这种传感器可用来 测量物位或液位,也可测量位移。 由图中可以看出,此时传感器的电容量为 ;其中: 设极板间无ε2介质时的电容量为: ;当ε2介质插入两极板间则有: C =CA +CB 1 1 2 2 1 2 1 ( )/ ( ) ; / / d d  b l x C d d bx CA B + − = + = 1 2 1 0 d d bl C + =  ) 1 (1 ( ) C C 2 1 2 1 2 1 0 1 1 2 2 2 1 1 A B        + − = + + − + + = + = d l d x C d d b l x d d bx C (3-1-7) 式(3-7)表明,电容量C与位移x呈线性关系
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