第二章 MEMS的设计 内容提要 √硅晶体结构与微观力学 √微尺度效应 √MEMS设计的基本问题 √MEMS设计的具体方法 电种域女学第二章 MEMS的设计 内容提要 ✓ 硅晶体结构与微观力学 ✓ 微尺度效应 ✓MEMS设计的基本问题 ✓MEMS设计的具体方法