25、高真空隔膜阀 部分操作部件功能说明: 6作选择开关:此开关的功能分为“断”、“辉光放电测量”、“击穿电压测量” “探针测量”四档。 断:开关在此位置时,高压没有输出,在改变电极距离和在调试过程中应将 开关置于“断”档位上。 辉光放电测量:开关在此位置时,可以进行辉光放电的电流-电压(I-V)曲 线测量。 击穿电压测量:开关在此位置时,可以进行击穿电压测量。 其原理是:放电管中的气体被击穿时,会有电流流过;随着电流的增大, 内部取样电阻上的电压降增大,导致二极管导通,此时电压表显示的是二 极管的导通电位值。当电压在05~06V时可以认为气体击穿,记录下此 时放电管两端的电压。(实际的击穿电压值是放电管电压显示的电压值)。 探针测量:开关在此位置时,可以进行探针电流-电压(I-V)曲线测量 9、15量程选择开关。 探针电流测量:分为20uA~20mA4档 辉光电流测量:分为2mA~2A共4档 仪器主要配置及组成 DH2005直流辉光等离子体实验装置包括可拆卸的气体放电管、测量系统、 真空系统、进气系统和水冷系统等部分组成。 气体放电管:采用玻璃烧结而成内附两组钨丝探针。及两边采用不锈钢材料制 成的水冷套及放电管固定托架 测量系统:包括辉光电压表、辉光电流表、探针电压表、探针电流表、击穿电压 测量表。 放电管电压表:三位半数显,测量范围0~2000V,测量精度2% 瓣光电流表:三位半数显,测量范围0~2A,共分5档,测量精度0.5%。 探针电压表:三位半数显,测量范围0~±200V,测量精度0.5% 探针电流表:三位半数显,测量范围0~20mA,测量精度0.5%8 25、高真空隔膜阀 部分操作部件功能说明： 6 作选择开关：此开关的功能分为“断”、“辉光放电测量”、“击穿电压测量”、 “探针测量”四档。 断：开关在此位置时，高压没有输出，在改变电极距离和在调试过程中应将 开关置于“断”档位上。 辉光放电测量：开关在此位置时，可以进行辉光放电的电流-电压（I-V）曲 线测量。 击穿电压测量：开关在此位置时，可以进行击穿电压测量。 其原理是：放电管中的气体被击穿时，会有电流流过；随着电流的增大， 内部取样电阻上的电压降增大，导致二极管导通，此时电压表显示的是二 极管的导通电位值。当电压在0.5～0.6V 时可以认为气体击穿，记录下此 时放电管两端的电压。（实际的击穿电压值是放电管电压显示的电压值）。 探针测量：开关在此位置时，可以进行探针电流-电压（I-V）曲线测量。 9、15 量程选择开关。 探针电流测量：分为20μA∼20mA 4 档。 辉光电流测量：分为2mA∼2A共4档。 仪器主要配置及组成 DH2005直流辉光等离子体实验装置包括可拆卸的气体放电管、测量系统、 真空系统、进气系统和水冷系统等部分组成。 气体放电管：采用玻璃烧结而成,内附两组钨丝探针。及两边采用不锈钢材料制 成的水冷套及放电管固定托架。 测量系统：包括辉光电压表、辉光电流表、探针电压表、探针电流表、击穿电压 测量表。 放电管电压表：三位半数显，测量范围0～2000V，测量精度2%。 辉光电流表：三位半数显，测量范围0～2A，共分5档，测量精度0.5%。 探针电压表：三位半数显，测量范围0～±200V，测量精度0.5%。 探针电流表：三位半数显，测量范围0～20mA，测量精度0.5%