实验仪器 本实验采用DH2005型直流辉光等离子体实验装置,该仪器采用一体化设计, 顶部是放电管及水冷部分,髙压加在放电管两端,外面采用聚四氟乙烯绝缘材料 绝缘,冷却水通过两端的循环水冷套对放电管进行冷却,放电管内附两组钨丝电 极,可用于朗缪尔探针技术测定等离子体的一些基本参量。测量及控制部分均布 置在操作面板上,如图2所示。 直流辉光等离体实骗装置 n 18 o19 o◎s Mz航喇大华器制路有公司 图2:DH2005直流辉光等离子体实验装置操作面板图 各操作部件名称: 1、总电源开关 2、冷却水电源开关 3、真空泵电源开关 4、电阻真空计开关 5、高压电源开关 6、工作选择开关 7、高压调节粗调旋钮 8、高压调节细调旋钮 9、探针电流量程旋钮 10、探针电压粗调旋钮 l1、探针电压细调旋钮 12、放电管电压表 13、击穿电压显示表 14、辉光电流测量表 15、辉光电流量程旋钮 16、探针电流表 17、探针电压表 18、探针电流输入端 19、探针电压输出端 20、电压输出换向开关 21、电阻真空计 22、转子流量计 23、总电源指示灯 24、高真空微调阀7 实验仪器 本实验采用DH2005型直流辉光等离子体实验装置，该仪器采用一体化设计， 顶部是放电管及水冷部分，高压加在放电管两端，外面采用聚四氟乙烯绝缘材料 绝缘，冷却水通过两端的循环水冷套对放电管进行冷却，放电管内附两组钨丝电 极，可用于朗缪尔探针技术测定等离子体的一些基本参量。测量及控制部分均布 置在操作面板上，如图2所示。 图2：DH2005直流辉光等离子体实验装置操作面板图 各操作部件名称： 1、总电源开关 2、冷却水电源开关 3、真空泵电源开关 4、电阻真空计开关 5、高压电源开关 6、工作选择开关 7、高压调节粗调旋钮 8、高压调节细调旋钮 9、探针电流量程旋钮 10、探针电压粗调旋钮 11、探针电压细调旋钮 12、放电管电压表 13、击穿电压显示表 14、辉光电流测量表 15、辉光电流量程旋钮 16、探针电流表 17、探针电压表 18、探针电流输入端 19、探针电压输出端 20、电压输出换向开关 21、电阻真空计 22、转子流量计 23、总电源指示灯 24、高真空微调阀