D0I:10.13374/j.issn1001053x.1990.02.022 第12卷第2期 北京科技大学学报 Vol,12 No.2 1990年3月 Journal of University of Science and Technology Beijing March 1990 磁控溅射非晶Fe-Cr-Ni-C薄膜的 耐蚀性能 单大勇杨德钧殷慧田中卓·· 朱日彰肖纪美··张云汉· 精要：以璞为阻品元素，利用磁控张射方法获得非品不锈钢薄膜。用X-射线行射、透 射电镜和动电位极化方法研究了碳含量与薄慎结构及耐攸性的关系，并用AES和XPS分 析了纯化膜成分。结果表明：碳含量对薄使的结构和耐蚀性有显著影响！当践含量超过 6.2啊t%时，薄膜转变为非品态结构。 关键词：非品态，磁控展射，耐蚀性：Fc-Cr-NiC介金 Corrosion Behaviour of Amorphous Fe-Cr-Ni-C Alloys Synthesized by Magnetron Sputter Deposition Shan Dayong Yang Dejun Yin Hui Tian Zhongzhuo Zhu Rizhang Xiao Jimei Zhang Yunhan" ABSTRACT:The results of a study of the effect of increasing carbon concen- tration on the crystalline-to-amorphous transition and corrosion resistance in high rate sputter-deposited 304ss-carbon alloys are reported.Charaterization using X-ray diffraction,transmission electron microscopy and auger electron microprobe analysis showed that the amorphous state was formed at carbon concentration greater than 6.2wt%. KEY WORDS:amorphous,magnetron sputter,corrosion resistance;Fe-Cr-Ni-C alloy 1989一04一12收稿 ·张云汉是北京联大机械工程学院教师 ··材料物理系(Dcpt,of Material physics) ···表面科学与腐工程系(Dcpt,of Surface Sci,and Corro,Eng.) 114第 卷 第 期 年 月 北 京 科 技 大 学 学 报 别，， 磁控溅射非 晶 一 一 一 薄膜的 耐 蚀 性 能 单大 勇 杨德钧 殷 慧 朱 日彰 肖纪 美 ” 田 中卓 ” 张云 汉 尹尹， 摘 要 以碳为阻 晶元素 ， 利 用磁 控溅 射方法获得非 晶不锈钢薄膜 用 一 射线 衍射 、 透 射 电镜和 动 电位 极化 方法研 究 了碳 含 与薄旗结构及耐蚀性的关 系 ， 并 用 和 分 析 了钝化 旗成 分 。 结果 表明 碳 含 对薄 膜 的 结构和耐蚀 性 有 显著 影 响 ， 当 碳 含 超 过 。 时 ， 薄膜转变 为非 晶态结构 。 关工饲 非 晶态 ， 滋 控戮 射 ， 耐蚀性 ， 一 一 一 合金 一 一 一 洲口 ” 夕。 ” 夕 夕 ” … ” 之 ’ “ 犷 ” 夕 口 ’成 ’ 月 夕 ” 一 一 一 一 丁 · 一 ， 侧 ， ， ， 一 一 一 一 一 收稿 张 云汉 是北京联大机 械工程 学院教师 二 耳 材料 物理 系 表面科学 与腐蚀工程系 。 ” 日口 DOI ：10．13374／j ．issn1001－053x．1990．02．022