其他时间都要关闭蝶阀和切断电离规管灯丝电流,以保护扩散泵和电离规管 若需将衍射腔部分通大气时(如取底片或取已镀好的样品架),可用充气阀充入空气。但 在打开充气阀前,要注意以下几点: (1)切断电离规管电源。 (2)关闭蝶阀。 (3)若机械泵仍在工作中,三通阀必须置于“推”位。 (4)为防止充气过程中吹破样品薄膜,应将样品架向前旋紧,以使样品架封在装取 样品架的窗口内 用极阳极样品台,块门 阴极因定架观察害 黥相略盒 镜网 爽光屏 釁毒 底片转动旋钮 琥膜罩 通闻 是遇费 拉 岛丿器硬平←A 挡油器三1 加水 保配转柄 储 垂直位“斷 袖扩散泵 冷水 机薇泵 电妒 图7电子衍射仪真空系统示意图 3、电源 电气部分主要包括真空机组的供电、高压电源、镀膜及灯丝供电三部分,电源控制部分 见图5面板。 (1)真空机组的供电:扩散泵电炉(1000W)直接由市电220V单相电源供电,机械泵 由380V三相电源供电。 (2)高压供电:取220V市电,经05kW自耦变压器调压供给变压器(220/40000V)进行 升压,经整流滤波后变为直流高压,正端接阳极,负端接阴极,作为电子的加速电压6 其他时间都要关闭蝶阀和切断电离规管灯丝电流，以保护扩散泵和电离规管。 若需将衍射腔部分通大气时（如取底片或取已镀好的样品架），可用充气阀充入空气。但 在打开充气阀前，要注意以下几点： （1） 切断电离规管电源。 （2） 关闭蝶阀。 （3） 若机械泵仍在工作中，三通阀必须置于“推”位。 （4） 为防止充气过程中吹破样品薄膜，应将样品架向前旋紧，以使样品架封在装取 样品架的窗口内。 3、 电源 电气部分主要包括真空机组的供电、高压电源、镀膜及灯丝供电三部分，电源控制部分 见图 5 面板。 （1）真空机组的供电：扩散泵电炉（1000W）直接由市电 220V 单相电源供电，机械泵 由 380V 三相电源供电。 （2）高压供电：取 220V 市电，经 0.5kW 自耦变压器调压,供给变压器(220/40000V)进行 升压，经整流滤波后变为直流高压，正端接阳极，负端接阴极，作为电子的加速电压。 图 7 电子衍射仪真空系统示意图