阳极阳极观察窗 一快门 相魔盒 西中b 样品台推杆手柄 圆症片转动 旁 徒钮 镀复室 史光屏 通网 回回°h 灯丝电压电凝高压kO0O 瞑订丝 电源扩散泵高E 双掷开关)高压调节灯丝调节 祝 水平位 A(垂直位〕8 图5电子衍射仪外观图 1、衍射腔 图6为衍射腔示意图 图6衍射腔示意图 A为阴极,B为阳极,C为光阑,F为样品,E为荧光屏或底片。阴极A内装有V型灯 丝,通电后发射电子。灯丝一端加有数万伏的负高压,阳极接地。电子经高压加速后通过光 阑C时被聚焦。当直径只有0.5毫米的电子束穿过晶体薄膜F后,在荧光屏上形成电子衍射 图像。在衍射腔的右端内设有照相装置,一次可以拍摄两张照片 2、真空系统 真空系统由机械泵,扩散泵和储气筒组成(见图7)。扩散泵与衍射腔之间由真空蝶阀控 制“开”或“关”。三通阀可使机械泵与衍射腔连通(“拉”位)或与储气筒连通(“推”位)。 实验或镀膜时须先将衍射腔抽成低真空,然后抽成高真空。只有在抽髙真空时才能打开蝶阀5 1、 衍射腔 图 6 为衍射腔示意图。 A 为阴极，B 为阳极，C 为光阑，F 为样品，E 为荧光屏或底片。阴极 A 内装有 V 型灯 丝，通电后发射电子。灯丝一端加有数万伏的负高压，阳极接地。电子经高压加速后通过光 阑 C 时被聚焦。当直径只有 0.5 毫米的电子束穿过晶体薄膜 F 后，在荧光屏上形成电子衍射 图像。在衍射腔的右端内设有照相装置，一次可以拍摄两张照片。 2、 真空系统 真空系统由机械泵，扩散泵和储气筒组成（见图 7）。扩散泵与衍射腔之间由真空蝶阀控 制“开”或“关”。三通阀可使机械泵与衍射腔连通（“拉”位）或与储气筒连通（“推”位）。 实验或镀膜时须先将衍射腔抽成低真空，然后抽成高真空。只有在抽高真空时才能打开蝶阀， 图 6 衍射腔示意图 图 5 电子衍射仪外观图