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§3.2 MOSFET MOSFET侧视图与顶视图 Gate Gate Source Gate oxide Source Drain L Drain Substrate (a)Side view (b)Top view Figure 3.13 Views of a MOSFET 2018-9-5 第3章CMOS集成电路的物理结构 3 §3.2 MOSFET §3.2.1硅的导电性 半导体:导电能力介于导体和绝缘体之间的物质。 本征半导体:完全纯净的、具有晶体结构的半导体。 半导体的特点: •当受外界热和光的作用时,它的导电能力明显变化。 •往纯净的半导体中掺入某些杂质,会使它的导电能力明 显改变。 半导体器件中用的最多的半导体是硅。 2018-9-5 第3章CMOS集成电路的物理结构 142018-9-5 第3章 CMOS集成电路的物理结构 13 §3.2 MOSFET MOSFET侧视图与顶视图 2018-9-5 第3章 CMOS集成电路的物理结构 14 §3.2 MOSFET §3.2.1 硅的导电性 半导体:导电能力介于导体和绝缘体之间的物质。 半导体的特点: •当受外界热和光的作用时,它的导电能力明显变化。 •往纯净的半导体中掺入某些杂质,会使它的导电能力明 显改变。 半导体器件中用的最多的半导体是硅。 本征半导体:完全纯净的、具有晶体结构的半导体
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