3.热蒸发薄膜的厚度分布 点蒸发源 通常将能够从各个方向蒸发等量材料的微小球状蒸发源称为 点蒸发源（简称点源） dS2(接收面元) 点源 t是在基板平面内所能得到的最大厚度。 膜厚分布状况可用下式表示 等膜厚面 tt,=1/1+(x/h)2%3. 热蒸发薄膜的厚度分布 • 点蒸发源 – 通常将能够从各个方向蒸发等量材料的微小球状蒸发源称为 点蒸发源（简称点源） t/t0 = 1 / [1+（x/h）2 ] 3/2 t0是在基板平面内所能得到的最大厚度。 膜厚分布状况可用下式表示 x (接收面元) 点源