微小平面蒸发源：这种蒸发源的发射特性具有方向性，使在0角方向蒸发的 材料质量和cos0成正比例，即遵从所谓余弦角度分布规律 h 等膜厚面 dS, 膜厚分布状况 t/to=1/1+(/h)2 面源 X• 微小平面蒸发源：这种蒸发源的发射特性具有方向性，使在θ角方向蒸发的 材料质量和cosθ成正比例，即遵从所谓余弦角度分布规律 t / t0=1 / [1+(x/h)2 ] 2 膜厚分布状况 等膜厚面 x 面源